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多晶硅生产技术

发布日期:2023-06-12 16:04:24 作者:超级管理员 点击:453

  多晶硅的生产技术主要为改良西门子法、硅烷法、冶金法。西门子法通过气相沉积的方式生产柱状多晶硅,为了提高原料利用率和环境友好,在前者的基础上采用了闭环式生产工艺即改良西门子法。该工艺将工业硅粉与HCl反应,加工成SiHCl3 ,再让SiHCl3在H2气氛的还原炉中还原沉积得到多晶硅。还原炉排出的尾气H2、SiHCl3、SiCl4、SiH2Cl2 和HCl经过分离后再循环利用。硅烷法是将硅烷通入以多晶硅晶种作为流化颗粒的流化床中,使硅烷裂解并在晶种上沉积,从而得到颗粒状多晶硅。改良西门子法和硅烷法主要生产电子级晶体硅,也可以生产太阳能级多晶硅。冶金法是指以冶金级硅为原料。经过冶金提纯制得纯度在99.9999%以上用于生产太阳能电池的多晶硅原料的方法。

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